發(fā)布時(shí)間：2023-05-13 | 游覽：5112
| 產(chǎn)品名稱 | 氣體純度 | 氣瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量（Kg） | 保質(zhì)期 |
| CH3F | 99.999% | DOT10.8L | DISS724 | 2.5 | 2年 |
| DOT47L | DISS724 | 15 | 2年 | ||
| 備注：可按客戶要求定制包裝規(guī)格 | |||||
一氟甲烷是一種綠色、高效的蝕刻氣體，它可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜，可用于半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品的蝕刻制程。
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